失效分析實驗室半導(dǎo)體工程師2022-01-1109:40電鏡新品發(fā)布也迎來活躍一年，發(fā)布新品不僅低中高端產(chǎn)品基本覆蓋，大部分主流品牌皆有輸出，國產(chǎn)方面也多點開花。經(jīng)歷2020年疫情籠罩，2021年全球電鏡市場規(guī)模回暖，規(guī)模再次以個位數(shù)速率增

失效分析實驗室 半導(dǎo)體工程師 2022-01-11 09:40

電鏡新品發(fā)布也迎來活躍一年，發(fā)布新品不僅低中高端產(chǎn)品基本覆蓋，大部分主流品牌皆有輸出，國產(chǎn)方面也多點開花。

經(jīng)歷2020年疫情籠罩，2021年全球電鏡市場規(guī)模回暖，規(guī)模再次以個位數(shù)速率增長，作為最大需求單一市場國家，中國則實現(xiàn)20%以上增長。電鏡新品發(fā)布也迎來活躍一年，發(fā)布新品不僅低、中、高端產(chǎn)品基本覆蓋，大部分主流品牌皆有輸出，國產(chǎn)方面也多點開花。

以下對2021年在電鏡新品進行盤點，數(shù)據(jù)主要統(tǒng)計自本網(wǎng)報道或公開信息，如有遺漏、錯誤歡迎在留言區(qū)補充或郵件（yanglz@instrument.com.cn ）。

2021年電鏡發(fā)布新品速覽（按發(fā)布時間順序）

類型

品牌

產(chǎn)品名稱

型號

描述

SEM

蔡司

新一代Gemini場發(fā)射掃描電鏡系列

GeminiSEM 360

GeminiSEM 460

GeminiSEM 560

高分辨，不挑樣

日本電子

肖特基場發(fā)射電鏡

JSM-IT800(i)/(is)

適用觀測半導(dǎo)體器件

聚束科技

高通量(場發(fā)射）掃描電鏡

Navigator-100B PLUS

國產(chǎn)高通量場發(fā)射升級款

祺躍科技

原位高溫掃描電鏡

-

國產(chǎn)原位高溫

日本電子

新型掃描電子顯微鏡

JSM-IT510

鎢燈絲電鏡升級

Phenom

臺式場發(fā)射掃描電鏡

Phenom Pharos G2

分辨率提至1.8nm

日立

兩款場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SU8600

SU8700

聚焦自動獲取大量數(shù)據(jù)功能

國儀量子

場發(fā)射掃描電鏡

SEM5000

國產(chǎn)場發(fā)射掃描電鏡

TEM

日本電子

新一代冷凍電鏡

CRYO ARMTM 300II （JEM-3300）

速度、操作、通量全面升級

賽默飛

球差校正透射電鏡

Spectra Ultra

適合電子束敏感材料的球差電鏡

賽默飛

掃描透射電鏡

Talos F200E

為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計

納鏡鼎新

高通量生物掃透電鏡

智眸365

(Smart View 365)

國產(chǎn)高通量生物掃描透射電鏡

聚焦離子束顯微鏡

賽默飛

雙束透射電鏡

Helios 5 PXL Wafer DualBeam

半導(dǎo)體雙束透射電鏡

其他

日本電子

超微電子衍射平臺

Synergy-ED

電鏡-x射線衍射平臺

賽默飛

定制球差校正電鏡

Spectra φ

定制球差電鏡

掃描電鏡：11款齊發(fā)，9款場發(fā)射！

掃描電鏡方面，場發(fā)射產(chǎn)品成為新品主流，蔡司和日立包攬5款場發(fā)射新品，日本電子發(fā)布場發(fā)射和鎢燈絲升級產(chǎn)品，飛納臺式場發(fā)射電鏡分辨率提升至1.8nm。國產(chǎn)方面，聚束科技發(fā)布高通量場發(fā)射升級產(chǎn)品，國儀量子也加入場發(fā)射產(chǎn)品行列，祺躍科技則基于其原位力學(xué)技術(shù)，發(fā)布原位高溫掃描電鏡。

蔡司|新一代Gemini場發(fā)射掃描電鏡系列【3款】

Gemini系列新品，左至右：GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560【發(fā)布會專題】

發(fā)布時間：3月24日

參考價格：300-600萬元

蔡司此次發(fā)布的GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560是Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)也針對不同的應(yīng)用場景衍生出的三款新型號。

GeminiSEM 360搭載1型Gemini鏡筒，是一款高通用性成像工具。其物鏡為靜電透鏡+磁透鏡復(fù)合透鏡，在提高其電子光學(xué)性能的同時將它們對樣品的影響降至更低。即使對極具挑戰(zhàn)的樣品也能進行高品質(zhì)成像。Beam booster技術(shù)具有鏡筒內(nèi)的電子加減速功能，可確保獲得小束斑和高信噪比；Gemini鏡筒內(nèi)帶有平行設(shè)計的鏡筒內(nèi)二次電子和背散射電子探測器，可實現(xiàn)信號的高效采集，同步獲取形貌襯度和成分襯度像。

GeminiSEM 460搭載2型Gemini鏡筒，專為應(yīng)對復(fù)雜的分析工作而設(shè)計。它除了復(fù)合透鏡和鏡筒內(nèi)加減速設(shè)計以外，利用雙聚光鏡設(shè)計實現(xiàn)更加靈活的束流調(diào)節(jié)。用戶可以在小束流的高分辨成像模式與大束流的分析模式之間進行無縫切換，對稱設(shè)計的EDS接口可讓您獲得無陰影的成分分布圖，而物鏡無漏磁設(shè)計可以讓您獲得無畸變的大面積EBSD花樣。您還可以通過加裝各種原位實驗附件將Gemini 460升級為一個自動化原位實驗平臺。

GeminiSEM 560搭載3型Gemini鏡筒，帶給用戶極致的高分辨成像體驗。該款鏡筒擁有兩個可協(xié)同工作的電子光學(xué)系統(tǒng)：Nano-twin透鏡和新型電子光學(xué)引擎Smart Autopilot，可通過聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束會聚角，進一步提升分辨力；還可實現(xiàn)1倍到200萬倍的無縫過渡，大視野導(dǎo)航和亞納米成像一鏡到底。

日本電子|場發(fā)射電鏡JSM-IT800半透鏡版本(i)/(is)

新型肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-IT800【產(chǎn)品鏈接 】

發(fā)布時間：8月31日

參考價格：200-400萬元

JSM-IT800 集成了用于高分辨率成像的透鏡內(nèi)肖特基 Plus 場發(fā)射電子槍、創(chuàng)新的電子光學(xué)控制系統(tǒng)“Neo Engine”， 以及追求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射線能譜儀。

JSM-IT800 有五種不同物鏡版本：混合鏡頭版本 (HL)，這是一種通用 FE-SEM；超級混合鏡頭版本（SHLs/SHL，功能不同的兩個版本），可實現(xiàn)更高分辨率的觀察和分析；以及新開發(fā)的半透鏡版本（i/is，兩個不同功能的版本），適用于半導(dǎo)體器件的觀察。

半透鏡通過在物鏡下方形成的強磁場透鏡會聚電子束來實現(xiàn)超高分辨率。此外，該系統(tǒng)有效地收集從樣品發(fā)射的低能量二次電子，并使用上部透鏡內(nèi)檢測器 (UID) 檢測電子。因此，它可以對傾斜樣品和橫截面樣品進行高分辨率觀察和分析，這正是半導(dǎo)體器件故障分析所需的。此外，它對于電壓對比度觀察也非常有用。

聚束科技|高通量(場發(fā)射）掃描電子顯微鏡 Navigator-100B PLUS

高通量(場發(fā)射）掃描電子顯微鏡 Navigator-100B PLUS【 產(chǎn)品鏈接 】

發(fā)布時間：8月

參考價格：500-700萬元

成像速度在同等條件下是同類機型的10倍以上，可在72小時內(nèi)以4nm 像素完成對10x10 mm2 區(qū)域的無遺漏采集。新機型在硬件部分模組提升較大，配備新型電子槍，電子束落點能量范圍可達30keV，涵蓋絕大多數(shù)掃描電鏡落點能量需求范圍。分辨率可達1.0nm (15keV下), 且在1-3kV低加速電壓下即可獲得1.5nm高分辨率的同時，仍能保持1‰以下的低圖像畸變。具備高度智能化，包括簡單快捷全景光學(xué)導(dǎo)航、一鍵全自動換樣、全景光學(xué)導(dǎo)航、實時聚焦追蹤，可以實現(xiàn)全自動超大區(qū)域（100mm×100mm）全息地圖集式拍攝，并繪制成全景地圖式信息瀏覽。

祺躍科技|原位高溫掃描電鏡

祺躍科技原位高溫掃描電鏡新品【發(fā)布詳情】

發(fā)布時間：10月14日

新開發(fā)的掃描電鏡設(shè)計理念包括樣品室空間從緊湊到合理，樣品臺承載能力較大、成像探測器承溫能力提升、保證高真空足夠的抽氣能力等，達到追求時序信息的目標(biāo)。本次新品實現(xiàn)整機國產(chǎn)化的核心部件包括高溫二次電子探測器、三維移動平臺與大載荷拉伸平臺、1400度原位加熱器、超大結(jié)構(gòu)樣品腔室和超高真空系統(tǒng)等。保障電鏡極端環(huán)境長時間穩(wěn)定運行的相關(guān)模塊包括冷阱、等離子清洗、極靴屏蔽、紅外測溫等。同時兼容EDX和EBSD等，還預(yù)留設(shè)置了多種通訊接口，為今后拓展更多原位技術(shù)留有余地。

日本電子|鎢燈絲掃描電鏡升級產(chǎn)品JSM-IT510

鎢燈絲掃描電子顯微鏡JSM-IT510【產(chǎn)品鏈接】

發(fā)布時間：11月8日

參考價格：130-200萬元

為了滿足基礎(chǔ)研究、工業(yè)現(xiàn)場對更快獲取結(jié)果數(shù)據(jù)等， JSM-IT510系列進一步提升了InTouchScope?的可操作性。借助新增的Simple SEM功能，現(xiàn)在可以將日常工作 “交給”儀器。主要特點包括：新型“Simple SEM”功能、最新型低真空二次電子探頭 (LHSED)、 掃描電鏡圖像和能譜的一體化、實時立體三維圖像、實時分析功能、新的導(dǎo)航放大功能、0 倍放大、顯示X射線產(chǎn)生區(qū)域、SMILE VIEW? Lab管理軟件等。

Phenom|第二代肖特基場發(fā)射臺式掃描電鏡Phenom Pharos G2

飛納臺式場發(fā)射掃描電鏡 Phenom Pharos G2【 產(chǎn)品鏈接 】

發(fā)布時間：11月24日

參考價格：200-300萬元

Phenom Pharos G2, 集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析功能于一體。高亮度肖特基場發(fā)射電子源，使用戶可以輕松獲得高分辨率圖像，且低電壓性能優(yōu)異。Pharos G2分辨率提升至1.8nm，采用熱場發(fā)射電子源，信噪比高，使用壽命長，保證長期穩(wěn)定的性能。飛納臺式場發(fā)射掃描電鏡能譜一體機標(biāo)配背散射電子成像、二次電子電子成像和能譜分析功能，可對各種樣品進行高分辨成像及元素分析。

日立|全新場發(fā)射掃描電鏡SU8600和SU8700

全新冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600（左）和熱場發(fā)射掃描電鏡SU8700（右）【發(fā)布會專題】

發(fā)布時間：12月9日

參考價格：250-400萬元

全新一代冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600不光保留了日立傳統(tǒng)冷場電鏡的優(yōu)點，還采用了新型冷場電子槍，可選擇更多種類的探測器，而且具有全新的自動數(shù)據(jù)獲取功能，這些技術(shù)的加入使得SU8600的成像、分析能力以及自動化性能都有了質(zhì)的飛躍。具體特點包括：強大自動化功能、成熟的電子光學(xué)系統(tǒng)、強大的圖像顯示和存儲、簡便的操作等。

全新一代熱場發(fā)射掃描電鏡SU8700是一款集高分辨觀察、高效率分析、自動化操作等特點于一身的掃描電鏡。全新的自動數(shù)據(jù)獲取功能，電子光學(xué)系統(tǒng)，多探頭檢測系統(tǒng)等技術(shù)的加入使得SU8700的成像和分析能力有了質(zhì)的飛躍。具體特點包括：強大的自動化功能、全新的電子光學(xué)系統(tǒng)、高效的分析能力、豐富的樣品適用性、簡便的操作等。

國儀量子|場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000

場發(fā)射掃描電鏡SEM5000【 發(fā)布信息 】

參考價格：200-300萬元

新品場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000，是一款高分辨的多功能掃描電鏡，分辨率優(yōu)于1 nm，放大倍數(shù)超過一百萬倍。SEM5000的新型鏡筒，優(yōu)化了電子光路設(shè)計，采用高壓隧道技術(shù)，在高電壓和低電壓下均能實現(xiàn)高質(zhì)量成像；系統(tǒng)配置了無漏磁物鏡，實現(xiàn)了無漏磁高分辨成像，適用于磁性樣品分析；可選配多種探測器及其它分析儀器，能夠滿足用戶的各種需求。將廣泛應(yīng)用于鋰電池材料、新型納米材料、半導(dǎo)體材料、礦物冶金、地質(zhì)勘探、生物等領(lǐng)域。

透射電鏡：冷凍電鏡、球差電鏡，國產(chǎn)掃描透射

透射電鏡方面，面向高端市場的掃描透射電鏡成為新品主流。日本電子新一代冷凍電鏡JEM-3300年初上市。賽默飛球差電鏡新品Spectra Ultra、掃描透射電鏡新品Talos F200E更加關(guān)注半導(dǎo)體領(lǐng)域。國產(chǎn)方面，基于生物到實驗室和生物物理所合作，針對病理組織樣本高通量成像需求的專用掃描透射電子顯微鏡SmartView發(fā)布。

日本電子|新型冷凍電鏡JEM-3300

新型冷場發(fā)射低溫電子顯微鏡(cryo-EM)——CRYO ARM?300 II (JEM-3300)【 產(chǎn)品鏈接 】

發(fā)布時間：1月22日

參考價格：3000-5000萬元

JEM-3300新型冷凍電鏡基于“快速、易于操作、獲得高對比度和高分辨率圖像”的理念而開發(fā)。與之前的CRYO ARM? 300相比，JEM-3300可進行高質(zhì)量數(shù)據(jù)的快速采集、操作簡便，并在通量方面有大幅提升。

主要特點：通過最佳電子束控制實現(xiàn)高速成像，獨特的“Koehler mode”照射模式允許均勻電子束照射到樣品的特定位置，JEM-3300吞吐量相比上一代提升兩倍或更高；提高了高質(zhì)量圖像采集的硬件穩(wěn)定性，配備了一種新型冷場發(fā)射槍(cold FEG)、新的柱內(nèi) Omega 能量過濾器；系統(tǒng)升級后可操作性更高等。

賽默飛| 球差校正透射電鏡Spectra Ultra

新一代掃描透射電鏡Spectra Ultra S/TEM【產(chǎn)品詳情】

發(fā)布時間：3月3日

參考價格：2500-5000萬元

全新Spectra Ultra在數(shù)分鐘內(nèi)即可靈活優(yōu)化高級成像和分析條件。出于加快材料研究進程以及高通量需求，用戶現(xiàn)在可以以非?？斓乃俣确€(wěn)定地調(diào)節(jié)加速電壓。這極大擴展了研究的樣品范圍，最大程度地減少了電子束損傷，并顯著降低了工具的優(yōu)化耗時。

“配置了Ultra-X的Spectra Ultra改變了材料科學(xué)研究人員和半導(dǎo)體從業(yè)者的游戲規(guī)則。它可以通過迅速施加不同的加速電壓來顯著減少電子束損傷，并且用戶將能夠檢測極低濃度的輕元素。”賽默飛世爾材料科學(xué)副總裁Rosy Lee表示，“此外，與其他商業(yè)化解決方案相比，用戶可以以更高的分辨率快速成像快速分析，以研究新材料和改進現(xiàn)有材料?！?/p>

賽默飛| Talos F200E掃描透射電鏡

Talos F200E掃描透射電鏡

發(fā)布時間：3月17日

參考價格：600-1500萬元

Talos F200E (S)TEM提供原子級分辨率成像、快速EDS)分析和增強的數(shù)據(jù)可靠性，專為滿足半導(dǎo)體行業(yè)日益增長的需求而設(shè)計。且具有成本效益，易用性高，幫助半導(dǎo)體實驗室實現(xiàn)快速的樣品表征，加快可以量產(chǎn)的速度，提高制程良率。

“隨著創(chuàng)新的步伐不斷加快，半導(dǎo)體企業(yè)要求其分析實驗室加快周轉(zhuǎn)時間，并在各種設(shè)備和工藝技術(shù)上提供更可靠和可復(fù)現(xiàn)的(S)TEM數(shù)據(jù)，以支持他們的業(yè)務(wù)，”賽默飛半導(dǎo)體事業(yè)部副總裁Glyn Davies表示，“Talos F200E通過提供高質(zhì)量的圖像數(shù)據(jù)、快速的化學(xué)分析和行業(yè)領(lǐng)先的缺陷表征等特質(zhì)，可以為客戶提供高性價比、易用的解決方案。”

納鏡鼎新|高通量生物掃描透射電子顯微鏡SmartView

高通量生物掃透電子顯微鏡智眸365(Smart View 365)【產(chǎn)品詳情】

發(fā)布時間：7月28日

智眸365(Smart View 365)以其高通量、全自動、超高清圖像的優(yōu)越特性在降低人員工作強度的同時為專家分析和診斷病理提供更多的信息，有效提高診斷的效率與正確率。滿足專業(yè)用戶對超微病理診斷的需求。

主要特點包括：高通量高效率，插入病理切片樣品倉，選定工作模式，一次性自動連續(xù)完成多至500個樣品成像等；高分辨，分辨率高達0.9nm STEM圖像；高穩(wěn)定運行，長壽命、超穩(wěn)定的場發(fā)射電子源；使用簡單等。

聚焦離子束顯微鏡

賽默飛|Helios 5 EXL晶圓雙束透射電子顯微鏡

Helios 5 EXL晶圓雙束透射電子顯微鏡【產(chǎn)品詳情】

發(fā)布時間：4月21日

參考價格：700-1500萬元

Helios 5 EXL旨在滿足半導(dǎo)體廠商隨著規(guī)模化經(jīng)營而不斷增加的樣品量以及相應(yīng)的分析需求。這款產(chǎn)品擁有的機器學(xué)習(xí)和先進的自動化能力，可提供精確的樣品制備，以支持5納米以下節(jié)點技術(shù)和全環(huán)繞柵極半導(dǎo)體制程以及良率提高。

賽默飛半導(dǎo)體事業(yè)部副總裁Glyn Davies 表示：“半導(dǎo)體實驗室正面臨著巨大的壓力，在不增加成本的情況下，他們需要更快地提供TEM分析數(shù)據(jù)，以支持制程監(jiān)控并提升學(xué)習(xí)曲線，Helios 5 EXL可以通過可擴展的、可復(fù)現(xiàn)的和高精度的TEM樣品制備來應(yīng)對這一挑戰(zhàn)。”

其他新品：擴展技術(shù)與定制產(chǎn)品

日本電子|超微電子衍射平臺Synergy-ED

超微電子衍射平臺Synergy-ED

發(fā)布時間：5月31日

日本電子與Rigaku公司聯(lián)合開發(fā)出Synergy-ED，一個超微電子衍射平臺（ED），通過將日本理學(xué)的結(jié)構(gòu)分析技術(shù)和設(shè)備（如其高靈敏度檢測器）與日本電子的透射電子顯微鏡相結(jié)合，將兩者的核心技術(shù)結(jié)合起來，希望新品的技術(shù)能夠應(yīng)用于材料研究、化學(xué)和藥物開發(fā)等領(lǐng)域，并為利用電子衍射進行單晶結(jié)構(gòu)分析提供新的解決方案。在以前困難的亞微米范圍內(nèi)，結(jié)構(gòu)分析成為可能。

賽默飛|定制球差校正電鏡Spectra φ

定制的高分辨率掃描透射電子顯微鏡Spectra φ

發(fā)布時間：5月20日

定制的高分辨率掃描透射電鏡Spectra φ，用以支持莫納什大學(xué)在先進材料方面的研究。該儀器安裝在澳大利亞莫納什電子顯微鏡中心（MCEM）。

Spectra φ提供增強的電子束靈活性，以優(yōu)化復(fù)雜材料系統(tǒng)的高速多維成像。Spectra φ 的設(shè)計和制造符合由MCEM 和澳大利亞科學(xué)院院士Joanne Etheridge教授領(lǐng)導(dǎo)的團隊的規(guī)格。通過將 Spectra φ 納入其儀器陣容，莫納什大學(xué)將繼續(xù)推動對重要能源相關(guān)的開創(chuàng)性研究，包括高效光伏設(shè)備、電池、材料輕量化、低功耗電子產(chǎn)品和清潔發(fā)電等。

半導(dǎo)體工程師

半導(dǎo)體經(jīng)驗分享，半導(dǎo)體成果交流，半導(dǎo)體信息發(fā)布。半導(dǎo)體行業(yè)動態(tài)，半導(dǎo)體從業(yè)者職業(yè)規(guī)劃，芯片工程師成長歷程。