TO為直燃式熱氧化爐（thermaloxidizer）是直接燃燒的廢氣焚燒處理設(shè)備（簡(jiǎn)稱TO爐）。將可燃的有害廢氣VOCs的溫度提高到反應(yīng)溫度，從而發(fā)生氧化分解成無(wú)害物質(zhì)的裝置。燃燒溫度：760℃-850℃，特殊工況特殊對(duì)待。停留時(shí)間：一般

TO為直燃式熱氧化爐（thermal oxidizer）是直接燃燒的廢氣焚燒處理設(shè)備（簡(jiǎn)稱TO爐）。將可燃的有害廢氣VOCs的溫度提高到反應(yīng)溫度，從而發(fā)生氧化分解成無(wú)害物質(zhì)的裝置。

燃燒溫度：760℃-850℃，特殊工況特殊對(duì)待。

停留時(shí)間：一般在0.75s以上

應(yīng)對(duì)廢氣濃度：25%LEL，比RTO系統(tǒng)應(yīng)對(duì)濃度要高，不用考慮超溫的問(wèn)題。當(dāng)廢氣濃度過(guò)高，換熱器的材質(zhì)需要在設(shè)計(jì)中考量。

處理效率:99.5%

直燃系統(tǒng)介紹

直燃系統(tǒng)主要包括燃燒機(jī)、燃燒室、換熱器、熱回收裝置等進(jìn)行組成，往往根據(jù)實(shí)際的工況進(jìn)行搭配，兩段式換熱器或三段式換熱器，或者搭配導(dǎo)熱油鍋爐或者蒸汽鍋爐系統(tǒng)，TO爐的應(yīng)用往往是和生產(chǎn)段進(jìn)行緊密搭配。盡管本體的熱回收效率小，但是利用多級(jí)熱回收，仍然可以實(shí)現(xiàn)熱能的高效回收利用。

與RTO進(jìn)行對(duì)比

當(dāng)和RTO進(jìn)行對(duì)比時(shí)，TO的結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，簡(jiǎn)單帶來(lái)的好處是穩(wěn)定性，不像RTO系統(tǒng)閥門(mén)眾多，單室多室，控制更為復(fù)雜。美中不足的是TO的熱效率問(wèn)題，畢竟換熱器的熱回收能力并沒(méi)有那么高。

在半導(dǎo)體（晶圓）行業(yè)的應(yīng)用，大風(fēng)低濃的工況，選擇沸石轉(zhuǎn)輪+TO的工藝和沸石轉(zhuǎn)輪+RTO的工藝進(jìn)行對(duì)比（感興趣的可以計(jì)算二者能耗進(jìn)行比較）。當(dāng)前置吸附濃縮系統(tǒng)一致的情況下（濃縮倍率，去除效率），且TO和RTO的規(guī)格較?。?000NM3/h以下）。使用的TO爐燃燒機(jī)選擇不帶助燃風(fēng)機(jī)的類型。再進(jìn)行實(shí)際運(yùn)行能耗對(duì)比，兩個(gè)系統(tǒng)的天然氣能耗相近（TO偏高），但TO系統(tǒng)的風(fēng)阻小于RTO系統(tǒng)。另外從投資成本和運(yùn)行的穩(wěn)定性以及處理效率，TO爐的優(yōu)勢(shì)就明顯了。天然氣能耗相當(dāng)，你愿意選擇什么系統(tǒng)？

寫(xiě)在最后

為什么想談一談TO爐，其實(shí)也是想說(shuō)明一點(diǎn)沒(méi)有最好的工藝，只有適合的工藝。很多采用RTO系統(tǒng)的處理裝置，實(shí)際的氣密性差，蓄熱體抗堵性差，廢氣中含硅，含無(wú)機(jī)鹽，含有油煙等工況，往往只靠RTO并不能良好解決實(shí)際問(wèn)題。

在實(shí)際工況中應(yīng)用TO爐系統(tǒng)，往往不僅是凈化廢氣，同時(shí)還實(shí)現(xiàn)和生產(chǎn)工藝的搭配。如涂布線選擇TO爐搭配導(dǎo)熱油鍋爐或者TO爐搭配余熱回收系統(tǒng)。

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